真空镀膜


磁控溅射、连续镀膜线、OLED蒸发镀生产线、多弧离子镀、DLC镀膜机、多功能镀膜机、科研和实验室真空设备等。真空及镀膜系统硬件和软件服务,真空腔体设计加工、泵组、规管、气体流量控制器、真空阀门等器件供应和系统集成。



OLED蒸发镀生产线


项目介绍

自主设计和制造的OLED照明G2.5代量产线, 参与并设计了整线的控制系统和生产管理系统,实现了“OLED工艺+生产装备”的“交钥匙”产业模式;


产品介

采用基于S7-1500的Profinet高速总线的分布式控制系统对产线真空、水冷、电源、传动、工艺及安全联锁进行控制。同时后台的数据库对工艺参数进行分析挖掘;


项目亮点

整线集成控制系统;


客户收益

极大的缩短了量产OLED的时间。


项目

现场



DLC镀膜设备


项目介绍

本镀膜设备立足于多弧溅射和磁控溅射的理论基础,完成真空系统设计的同时,配备离子源清洗装置可以完成离子刻蚀工艺,配备化学反应气体具备掺杂特殊元素的成膜工艺,配备ICP离子源工艺可以提供极高的离化率。并从工艺角度出发,结合真空设备的特性,完成全套控制系统的开发;


产品介绍

设备具备偏压,多弧溅射,ICP离子源,灯丝离子源,磁控溅射,可调磁场和化学气象沉积等多种功能;


项目亮点

设备可以实现自动完成DLC等特殊膜层的高效成膜工艺;


客户收益

降低成本,提高核心竞争力。



项目现场



磁控溅射阴极控制系统


项目介绍

磁控溅射阴极应用于Low-E、ITO和光伏等多个行业核心镀膜部件;


产品介绍

实现阴极控制系统开发,西门子、倍福、三菱等核心控制品牌可选,根据客户需求定制开发不同通讯接口;


项目亮点

批量成熟的高端工艺流程;


客户收益

稳定可靠的产品。


项目现场


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