项目介绍

自主设计和制造的OLED照明G2.5代量产线， 参与并设计了整线的控制系统和生产管理系统，实现了“OLED工艺+生产装备”的“交钥匙”产业模式；

产品介绍

采用基于S7-1500的Profinet高速总线的分布式控制系统对产线真空、水冷、电源、传动、工艺及安全联锁进行控制。同时后台的数据库对工艺参数进行分析挖掘；

项目亮点

整线集成控制系统；

客户收益

极大的缩短了量产OLED的时间。

项目

现场

项目介绍

本镀膜设备立足于多弧溅射和磁控溅射的理论基础，完成真空系统设计的同时，配备离子源清洗装置可以完成离子刻蚀工艺，配备化学反应气体具备掺杂特殊元素的成膜工艺，配备ICP离子源工艺可以提供极高的离化率。并从工艺角度出发，结合真空设备的特性，完成全套控制系统的开发;

产品介绍

设备具备偏压，多弧溅射，ICP离子源，灯丝离子源，磁控溅射，可调磁场和化学气象沉积等多种功能;

项目亮点

设备可以实现自动完成DLC等特殊膜层的高效成膜工艺；

客户收益

降低成本，提高核心竞争力。

项目现场

项目介绍

磁控溅射阴极应用于Low-E、ITO和光伏等多个行业核心镀膜部件;

产品介绍

实现阴极控制系统开发，西门子、倍福、三菱等核心控制品牌可选，根据客户需求定制开发不同通讯接口;

项目亮点

批量成熟的高端工艺流程;

客户收益

稳定可靠的产品。

项目现场